HI MEGASONIC（生产终止）

７５０ｋＨｚ／９５０ｋＨｚ

硅 晶圆、ＧａＡｓ等的清洗　液晶玻璃的清洗　镜面的清洗
　硬盘的清洗　水晶振子的清洗　薄膜磁性头的清洗
　脆性材料等的清洗　其他的超精密清洗

◆根据半导体及液晶行业的要求可去除４５ｎｍ以下超微颗粒◆

　

■发生器特征

●搭配ＣＰＵ
　内置CPU，可与主计算机相通信（ＲＳ４８５、Ｄ－ＮＥＴ）、输出功率集中控制、反馈其工作状态（自我诊断功能）。
●数字显示功率输出
　３字段的数字显示、高精度管理通常作业状况。
●上下限判定功能
　发振状态显示实行上下限异常显示功能、其触点功率显示。
●ＰＬＬ频率自动跟踪
　KAIJO独创的PLL方式,即使水的种类、水深、水温（最高７０℃）等发生变化，发振方式也会自动调整到合适的频率位置。
●高效率发振
　由ＰＯＷＥＲ　ＭＯＳ　ＦＥＴ可进行高效率发振。
●无损伤
　功率可控制，适合２００／３００ｍｍ晶圆的清洗。

■发生器说明书

项目	仕样
型号	68101	78101	78102
实际功率	６００Ｗ	９００Ｗ	９００Ｗ
动作频率	９５０ｋＨｚ	９５０ｋＨｚ	７５０ｋＨｚ
発振方式	ＶＣＯ
频率调整	自动追踪ＰＬＬ方式
显示	７字段　３位数　ＬＥＤ
远程控制机构	有
使用温度	０～４０℃
使用温度	０～８０％（无结雾环境）
电源	ＡＣ２００Ｖ　６Ａ	ＡＣ２００Ｖ　９．５Ａ	ＡＣ２００Ｖ　９．５Ａ
外形尺寸 （ＷｘＤｘＨmm）	３２０ｘ５２０ｘ１４４	４６０×５００×１４３	４６０×５００×１４３
重量	約１７㎏	約２５㎏

仕样	晶圆6 振板仕样	晶圆8 振板仕样	晶圆12 振板仕样
型号	7857S型	8857S型	98SL型
额定功率	300Wx4	300Wx6	300Wx16
频率	950kHz	950kHz	750kHz
振动辐射面(mm)	136x163	165x215	275x319
振板材质	SU316L	SU316L	SU316L
振动体	PZT	PZT	PZT
最高使用温度	70℃	70℃	70℃
外形尺寸 (WxDxHmm)	185x215x55	255x305x55	410x340x65
安装方法	螺栓固定	螺栓固定	螺栓固定

■振板特征

●振动单元为大型Ｐ．Ｚ．Ｔ振动成分、清洗均匀。
●功率密度高、清洗能力卓越。（最大约５．４Ｗ／㎝２)
●板厚适中、使用寿命强、清洗稳定。
●音响无损失。
●单元连接缝隙微小、可达到最佳清洗效果。
●材质为ＳＵ３０４，３１６，３１６Ｌ ３种类型。

■清洗槽特征

●石英槽里放置直接振子连接的石英超声波槽，相比旧型的二重槽式有强力的超声波照射（本社比１．２倍以上）。此技术为kaijo独有技术。
●根据使用水温分为常温（５０℃　Ｍａｘ）、高温（８０℃　Ｍａｘ）2种类型。
●可制作不锈钢槽。