高频超声波清洗机

HI MEGASONIC(生产终止)

750kHz/950kHz

硅 晶圆、GaAs等的清洗 液晶玻璃的清洗 镜面的清洗
 硬盘的清洗 水晶振子的清洗 薄膜磁性头的清洗
 脆性材料等的清洗 其他的超精密清洗

◆根据半导体及液晶行业的要求可去除45nm以下超微颗粒◆

68101型发生器
 
■发生器特征

●搭配CPU
 内置CPU,可与主计算机相通信(RS485、D-NET)、输出功率集中控制、反馈其工作状态(自我诊断功能)。
●数字显示功率输出
 3字段的数字显示、高精度管理通常作业状况。
●上下限判定功能
 发振状态显示实行上下限异常显示功能、其触点功率显示。
●PLL频率自动跟踪
 KAIJO独创的PLL方式,即使水的种类、水深、水温(最高70℃)等发生变化,发振方式也会自动调整到合适的频率位置。
●高效率发振
 由POWER MOS FET可进行高效率发振。
●无损伤
 功率可控制,适合200/300mm晶圆的清洗。



■发生器说明书


项目 仕样
型号 68101 78101 78102
实际功率 600W 900W 900W
动作频率 950kHz 950kHz 750kHz
発振方式 VCO
频率调整 自动追踪PLL方式
显示 7字段 3位数 LED
远程控制机构
使用温度 0~40℃
使用温度 0~80%(无结雾环境)
电源 AC200V 6A AC200V 9.5A AC200V 9.5A
外形尺寸
(WxDxHmm)
320x520x144 460×500×143 460×500×143
重量 約17㎏ 約25㎏
仕样 晶圆6
振板仕样
晶圆8
振板仕样
晶圆12
振板仕样
型号 7857S型 8857S型 98SL型
额定功率 300Wx4 300Wx6 300Wx16
频率 950kHz 950kHz 750kHz
振动辐射面(mm) 136x163 165x215 275x319
振板材质 SU316L SU316L SU316L
振动体 PZT PZT PZT
最高使用温度 70℃ 70℃ 70℃
外形尺寸
(WxDxHmm)
185x215x55 255x305x55 410x340x65
安装方法 螺栓固定 螺栓固定 螺栓固定

■振板特征

振板

●振动单元为大型P.Z.T振动成分、清洗均匀。
●功率密度高、清洗能力卓越。(最大约5.4W/㎝2)
●板厚适中、使用寿命强、清洗稳定。
●音响无损失。
●单元连接缝隙微小、可达到最佳清洗效果。
●材质为SU304,316,316L 3种类型。


■清洗槽特征

清洗槽

●石英槽里放置直接振子连接的石英超声波槽,相比旧型的二重槽式有强力的超声波照射(本社比1.2倍以上)。此技术为kaijo独有技术。
●根据使用水温分为常温(50℃ Max)、高温(80℃ Max)2种类型。
●可制作不锈钢槽。