半导体工艺流程
光罩制作/光刻

光刻就是在芯片上建立多层电路图案。

首先,晶圆表面上覆盖上一层感光性强的化学制品光刻胶。象光 透过电影底片形成图像一样,光透过光掩膜在晶圆上形成图案。